技术编号:6849610
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有互连。背景技术 常规半导体器件使用互连,该互连是通过在绝缘间隔层中形成互连形成凹槽、并通过用诸如铜(Cu)层的金属层填充互连形成凹槽来构造的(例如,参见日本未决专利公开No.2001-176965)。图11是常规的半导体器件的示例性构造的截面结构视图。如图11中所示,半导体器件具有形成在半导体衬底100上的半导体元件,诸如晶体管、电阻器、电容器等,所有这些都未示出,并且在其上形成用于终止蚀刻的停止绝缘层102,在其间放置绝缘层。在停止绝缘...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。