半导体器件及其制造方法技术资料下载

技术编号:6849610

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本发明涉及一种具有互连。背景技术 常规半导体器件使用互连,该互连是通过在绝缘间隔层中形成互连形成凹槽、并通过用诸如铜(Cu)层的金属层填充互连形成凹槽来构造的(例如,参见日本未决专利公开No.2001-176965)。图11是常规的半导体器件的示例性构造的截面结构视图。如图11中所示,半导体器件具有形成在半导体衬底100上的半导体元件,诸如晶体管、电阻器、电容器等,所有这些都未示出,并且在其上形成用于终止蚀刻的停止绝缘层102,在其间放置绝缘层。在停止绝缘...
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