技术编号:6849710
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件的引线键合方法,以及利用此方法制作的半导体器件。背景技术 传统的半导体功率器件,如侧向扩散MOS(LDMOS),在半导体芯片上有多个芯片电极,以实现其内部大电流的调整。功率器件也具有一定尺寸的互连,用来连接其上的多根Au(Au)线。通过引线键合方法,Au线连接芯片电极和互连。在这种情况下,使用JP10-229100A的引线键合方法,多根Au线(例如,三根Au线)连接到相同数量的芯片电极(例如,三个电极)和互连。功率器件要求半导体芯片上有...
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