微机电热电制冷器及其制造方法技术资料下载

技术编号:6849992

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本发明涉及一种微机电热电制冷器及制造这种器件的方法,属于微电子领域。背景技术 由于许多电子元器件工作的有效输出功率比所需的输入功率小得多,这部分多余的功率就会转化为热量,如果累积在组件和元器件内部的热量没有被挥发掉的话,使设备内部产生高温,高温对大多数电子元器件将产生严重影响,元器件的可靠性就会遭到损害,甚至会导致电子元器件的失效,元器件的结温每升高10℃,那么它的失效率将翻番。因此必须在预期的热环境下,把电子元器件的温度控制在规定的数值之下,在热源至外部...
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