技术编号:6850228
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及介电体、压电体(电致伸缩体)及其制造方法,涉及可用作电容器、传感器、变换器及执行器等的介电体及压电体。特别涉及近年来受到注目的适于用作强介电体存储器及MEMS元件、喷墨头的介电体及压电体。另外,作为压电体的应用,除了喷墨头之外,还可应用于存储器用读写头、光学快门等以及扬声器。背景技术 作为电容器,一方面要求介电常数高的介电体材料,另一方面为了使电容器小型化,BaTiO3等陶瓷材料的薄膜化正在取得进展。然而,BaTiO3及Pb(Zr,Ti)O3等材...
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