技术编号:6850229
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体装置的制造方法及由该制造方法制造的半导体装置、电光学装置、集成电路及电子设备。背景技术 在电光学装置,例如液晶显示装置或有机EL(电致发光)显示装置等中,使用包含作为半导体元件的薄膜晶体管所构成的薄膜电路进行象素转换等。以往的薄膜晶体管使用非结晶硅膜形成沟道形成区域等的活性区域。而且,使用多晶硅膜形成活性区域的薄膜晶体管也已实用。通过使用多晶硅膜,与使用非结晶硅膜时相比可以提高移动性等的电特性,也可以提高薄膜晶体管的性能。另外,为了进一...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。