技术编号:6850440
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。相关专利的交叉参者本申请与下列并行提出的美国专利申请相关申请号09/439,661,标题为“改进的等离子体加工系统和用于该系统的方法”。(代理人案号LAM1P122/P0527)申请号09/470,236,标题为“具有动态气体分布控制的等离子体加工系统”;(代理人案号LAM1P123/P0557)申请号09/439,675,标题为“用于等离子体加工设备的温度控制系统”;(代理人案号LAM1P124/P0558)申请号09/440,418,标题为“用于产生均...
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