技术编号：6850942
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种结晶设备、结晶方法及调相装置，具体地说涉及用具有预定光强分布的激光照射多晶或无定形半导体膜以产生结晶的半导体膜的结晶设备。例如，用于控制向液晶显示器(LCD)的像素施加的电位的开关装置的薄膜晶体管(TFT)迄今为止都是在无定形硅层或者多晶硅层中形成的。多晶硅层的电子或空穴迁移率高于无定形硅层。因此，在多晶硅层中形成晶体管的情况下，开关速度增加，所以与在无定形硅层中形成晶体管的情况相比，显示响应加速。因此，可以在降低其它组件设计余量的优点下，用...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。