技术编号:6850960
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及有机EL(电致发光)显示装置的制造方法和显示装置,尤其是涉及蚀刻工艺的改进。背景技术 有机EL显示装置,具有在基板上由阳极、发光膜和阴极构成的多个像素以二维排列的微细结构。因此,在有机EL显示装置的制造工序中,为了将多个电极和配线等薄膜的图案化,多次使用加工精度高的光刻法。专利文献1特开2001-284609号公报然而,光刻法在使图案化的对象成膜后,由于经过涂布光致抗蚀剂、抗蚀剂的预焙、图案曝光、显影前焙烤、显影、后焙、蚀刻、灰化、抗蚀剂剥离、洗...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。