技术编号：6851008
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于测量装置的电机驱动元件或传感器元件，以及它的制造方法。特别涉及以堆叠式构造方法由压电元件构成的驱动元件和传感器元件，以及装备上述元件的测量装置。已知的这类测量装置例如压电加速度传感器和液位测量装置。大多数这种测量装置包含一个基体，在基体之上设置了驱动元件或传感器元件，其中包括这种压电元件、电极和电连接器以及接口。压电元件彼此电气连接，并连接到一个与使用情况相应的电子开关。这样的压电测量装置表现出相当高的电荷灵敏度以及相当低的横向灵敏度。然...
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