技术编号:6851077
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于在衬底上制造螺旋电感(Spiralinduktivit)的方法以及根据这种方法制造的螺旋电感或制造的器件。背景技术 随着工作频率的增长,在半导体衬底上集成的器件的器件模块化越来越重要,因为导电特性、在不连续性(Diskontinuitten)上的反射、交叠和损耗功率都增加了。由此,在模块化中对这些效应的考虑、特别是在高频范围,一般是不可缺少的。特别在低电阻的衬底情况下,例如硅衬底或硅锗衬底情况下,衬底导电能力的寄生的影响和附加的电容不能被...
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