技术编号:6851191
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种网络通信技术,经网络将半导体衬底上执行预定加工的衬底加工设备、用于液晶显示器的玻璃衬底、用于光掩模的玻璃衬底或用于光盘的衬底(下文中间称为“衬底”)与计算机互相连接。背景技术 通过执行一系列诸如清洗、保护层涂覆、曝光、显影、腐蚀、形成层间绝缘膜和衬底上的热加工的加工制造诸如半导体器件或液晶显示器的产品。通常,有内置保护层涂覆加工、内置显影加工单元等的衬底加工设备执行这种加工。设在衬底加工设备上的传送机器人连续地将衬底传送到各加工单元,从而在沉...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。