技术编号：6851371
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种喷射夹带在气体中的可升华固体颗粒(例如，CO2雪状物或Ar雪状物)至待清洁目标物表面的喷嘴，以及更具体地，涉及用于喷射可升华固体颗粒且可以防止由于超低温雪状物而在喷嘴及目标物的表面处形成霜的一种喷嘴。背景技术 众所周知，通过使用混有固体颗粒和气体的CO2(所谓的CO2雪状物)能够将微小的污染物颗粒从待清洁目标物的表面(例如半导体晶片或LCD(液晶显示器)基板)去除，而不会损坏目标物的表面。CO2雪状物经过一个形成于喷嘴内的文氏管而产生固体颗粒...
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