技术编号:6851769
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及了射频技术和微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)。确切地说,本发明涉及了采用微机电系统(MEMS)技术研制的射频(radio frequency,RF)开关。背景技术 射频微机电系统(RF MEMS)开关是无线通信等电子电路系统的基本元件之一,在雷达探测、无线通信等方面的应用十分广泛。RF MEMS开关具有多种驱动方式,包括静电驱动、电磁驱动、热电驱动、压电驱动和形状记忆合金驱动等,其中静电驱动因...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。