技术编号:6852008
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及处理或加工设备中包含的定位设备,处理或加工设备例如是被设计来将电子组件芯片安装到印刷电路板上的芯片安装器。本发明还涉及控制该定位设备的方法。背景技术 例如,如日本专利申请公开No.2003-124112中所公开的那样,在晶片的精细加工中通常利用曝光设备。光学单元、掩膜等与曝光设备中工作台上的放置的晶片对齐。例如,工作台在水平方向上移动以定位光学单元和掩膜。在工作台已经停止移动后工作台中仍存在过渡过程。光学单元和掩膜被驱动以与过渡过程同步地移动。光...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。