半导体器件的制作方法技术资料下载

技术编号:6852400

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本发明涉及半导体器件,特别是涉及减少半导体器件在加热组装时所产生的底板的翘曲的技术。背景技术 在现有的半导体器件中,由于氮化铝(AlN)等的发光底板(绝缘基板)经金属层和焊锡固定在底板上,故具有因各材料的热膨胀之差在结面上产生裂纹的缺点。因此,在专利文献1中,公布了在真空或惰性气体中使铝(Al)或铝合金熔解得到熔融体后,在真空或惰性气体中在铸模内使该熔融体与绝缘基板接触,此时通过保持冷却使该熔融体与绝缘基板直接接触而不使在它们之间的界面处介入金属表面的氧化...
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