技术编号：6852425
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种激光辐射方法，特别涉及一种通过自动聚焦机构对辐射目标的激光辐射进行控制的激光辐射方法。另外，本发明还涉及一种采用这种激光辐射方法制造半导体装置的方法。背景技术 最近几年，在一个衬底上制造薄膜晶体管(TFT)的技术已经有了很大的进步，有源矩阵显示装置的应用发展也得到了提高。尤其是，使用多结晶半导体膜形成的TFT在场效应迁移率方面要优于使用常规非晶半导体膜所形成的TFT，因此在TFT是用多结晶半导体膜形成时可以实现高速操作。因为这个原因，已经尝试...
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