技术编号:6853114
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及照相机、用于其的诸如电荷耦合装置(CCD)型固态成像装置的固态成像装置及其方法。背景技术 为了获得CCD固态图像装置的大视角和高速传输,存在降低传输电极的电阻的需求。这是因为如此的传输电极通常组成为RC分布常数电路,并且传输电极的高电阻将导致由传输电极施加的传输脉冲的非尖锐性(钝化)和延迟来干扰CCD电荷的传输。所以,传输电极和导线总线被制成为低电阻。获得低电阻传输电极的技术例如是,在传输电极由多晶硅组成时,引入杂质到多晶硅来使得电阻降低。或者,...
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