技术编号：6853392
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及到集成化MEMS，特别是一种CMOS电路与MEMS微电极的单片集成化工艺方法。背景技术 现代生物医学的发展，要求运用先进的科学技术发展新的分析原理并研究建立有效而实用的原位、在体、实时、在线和高灵敏度、高选择性的生物分析设备，这已成为20世纪90年代以来生命科学、化学和微电子学等领域研究和开发的主要目标。例如，在脑-机接口中，科研工作者常常通过生物传感器，即植入电极和头皮电极来提取脑信号，使用脑信号来控制外部设备，而植入电极以其高信号强度、高分辨...
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