技术编号:6854198
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体发光器件例如发光二极管或半导体激光器,尤其是涉及光提取效率提高的半导体发光器件,本发明还涉及这种半导体发光器件的制造方法。背景技术 为了提高半导体发光器件的光提取效率,已经尝试,在发光器件的前表面上形成纳米尺寸的规则结构(凹面和凸面)(Applied PhysicsLetters,142,vol.78,2001,Jpn.J.Appl.Phys.,L735,vol139,2000)。由于凹面和凸面的周期(period)是纳米尺寸的,因此凹...
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