技术编号:6855380
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。,和使用该单晶膜的法拉第转子的制作方法本发明涉及磁性石榴石单晶膜(Bi(铋)置换稀土类铁石榴石单晶膜)及其制造方法,和使用该单晶膜的法拉第转子。在光隔离器或光循环器等的法拉第转子中使用的Bi置换磁性石榴石单晶膜,由于在用液相外延生长法进行生长时或作为法拉第转子进行研磨加工时易于裂纹,故存在着法拉第转子制作的成品率非常低的问题。对此,例如,在特开平4-139093号公报(以下,叫做文献1)中所公开的方法中,是采用使室温下液相外延生长膜的晶格常数与衬底的晶格常...
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