技术编号：6855771
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于一种表面形貌图(Surface Profile)的修补方法，具体的讲是一种。背景技术 利用白光干涉(white light interferometry)的特性，以非接触方式对物体表面进行形貌测量的装置，广泛应用于对于精密度有高度要求的产品，诸如半导体晶片、液晶显示器的玻璃面板等。请参照图1所示，一典型非接触式形貌测量装置的示意图。如图1中所示，此形貌测量装置具有一宽频光源10、一准直透镜(collimation lens)20、一45度分光镜(...
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