技术编号:6855794
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及到一种发光二极管及其制造方法,特别是涉及到一种具有局部去除的基板的。背景技术 图1a至图1d,为示出了传统垂直型发光二极管的工艺剖面图。首先,提供蓝宝石基板100。接下来,利用外延方式,在蓝宝石基板100的表面上形成发光外延结构102,如图1a所示。一般来说,发光外延结构102主要包括依序堆叠的第一电性半导体层、主动层以及第二电性半导体层。由于蓝宝石基板100是电气绝缘材料,因此在制造垂直导通的电极结构时,通常需提供另一个具有导电性质的基板104...
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