环形半导体控制整流器组件的制作方法技术资料下载

技术编号:6857250

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本发明系涉及集成电路的抗静电放电技术,特别是涉及侧向半导体控制整流器的环形组件结构,以较小的布局面积提供较佳的静电放电保护能力。有鉴于半导体技术的进步,CMOS组件的尺寸已降至亚微米,甚至半微米等级。而随此先进技术造成的组件型态,包括有如甚薄的栅极氧化层、较短的晶体管信道区、源极和漏极漏极区的浅结(shallow junction)、具有轻掺杂漏极(LDD)特性的结构、以及金属硅化物的扩散(silicided diffusion)工艺等等,俱皆减弱由此CM...
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