技术编号：6857252
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种终点侦测方法与相关的制程设备，尤指一种以频率调制(frequency modulated)方式来寻找出一终点时间的方法以及相关的制程设备。于半导体制造过程中，终点侦测方法是非常重要的。终点侦测方法的好坏，关系到制造过程时间的控制，也就关系到产品的品质。请参阅第1图，第1图为一种现有的制程设备。制程设备10包含有一制程装置12、一控制装置14以及一终点侦测装置16。制程装置12中可以进行所希望的一制造过程，并提供一制程信号(process s...
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