多芯片封装结构的内连线的制作方法技术资料下载

技术编号:6857310

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本发明涉及一种芯片的连线结构,特别是涉及一种使用于多芯片封装结构中的内连线。背景技术 集成电路的发展,不断朝着微小化、集成化的方向前进。在一IC(集成电路)里整合多种功能,使其具有系统化的能力乃研发人员的目标。但整合多种功能的IC可能出现制造步骤复杂,晶粒(Die)面积过大而导致产品合格率降低的情况。若将两种制造流程差异较大的芯片或较难整合的功能,分成不同晶粒制造,再利用多芯片封装技术,在一封装体内封装多种不同功能的芯片,如内存、逻辑芯片及微处理器等,以实...
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