技术编号：6857386
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种精细图案的制作装置，特别是涉及一种将衬底设置于填充有液体的支撑台上，保证对衬底进行印刻(Imprint)时能够形成均匀的压力，从而可稳定地制作精细图案的精细图案制作装置。背景技术 一般情况下，薄膜晶体管是由栅极布线层、半导体层、抗接触层、导电层等多层薄膜层叠而成的薄膜结构。特别是，所述布线层主要是通过利用感光树脂的蚀刻工艺而制成的。即，将所述感光树脂以一定的厚度涂覆于衬底的布线膜上，通过区分蚀刻和非蚀刻区域的掩模，对感光树脂层进行曝光，从而形...
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