技术编号:6865268
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有非平行腔结构的集成半导体光波与光电子器件的制备方法,特别涉及一种在半导体外延层上制备楔形结构的方法。背景技术目前的各种半导体光电子器件,其结构上的一大特点就是在垂直于其衬底的方向上属于分层结构,并且各层结构之间通常是彼此平行的(且平行于衬底表面),这是由于半导体外延生长工艺所决定的。多年来半导体器件的发展均承袭了这一结构。近年来,随着光通信、光信息处理技术的飞速发展,楔形结构在光波导互连(如光波模式变换)、解复用接收器件(平行腔间解耦)以...
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