技术编号:6865347
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于偏光变换元件、光学照明装置、曝光装置、以及曝光方法,且特别是有关于一种曝光装置,用于制成半导体元件、影像摄取元件、液晶显示元件、薄膜磁性头等的微元件的微影制程中。背景技术 关于一些典型的曝光装置,从光源射出的光束藉由做为光学积分器(optical integrator)的复眼(fly eye)透镜,以形成由多个光源所构成的实质面光源的二次光源。由二次光源(一般是光学照明装置的照明瞳或是被形成于其附近的照明瞳分布)射出的光束,藉由被配置于复眼透...
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