技术编号:6865648
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在对晶片等被检查体进行电特性检查时所使用的探针,更详细地说,涉及可以降低检查时的针压的探针。背景技术 当对晶片等被检查体进行电特性检查时,例如使用探针装置等检查装置。检查装置具有与被检查体电接触的探针卡,使安装在探针卡上的多个探针与在被检查体上形成的IC芯片的电极触点电接触,从而对IC芯片进行电特性检查。但是,电极触点例如由铝等导电性金属形成,因此,当仅使探针与电极触点接触时,由于在电极触点的表面上形成的氧化膜构成绝缘体而无法获得电导通。因此,在...
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