技术编号:6865836
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种激光辐照方法和激光辐照装置,该方法和装置例如可用于使无定形半导体膜结晶并且可以用强度均匀的线形光束来照射某一受辐照表面。更具体地讲,本发明涉及一种激光辐照方法和激光辐照装置,该方法和装置可以通过阻挡光束的低强度部分并在受辐照表面上抑制因光束衍射而导致的条纹,用强度均匀的线形光束来照射该受辐照表面。背景技术 近年来,在基片上制造薄膜晶体管(在下文中被称为TFT)的技术已经取得了很大的进步,并且有源矩阵显示设备的应用开发也有进展。特别是,与用常规...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。