技术编号:6866107
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种执行处理的装置和方法,其通过提供一种处理液来处理对象例如半导体晶片和LCD玻璃衬底。背景技术 在制造半导体器件的过程中,通过将处理液如化学液体或漂洗液供给到容纳处理液的处理槽中,将加工对象浸没在处理液中,执行液体处理如蚀刻处理或清洁处理以处理对象如半导体晶片或LCD玻璃衬底。JP10-229065A公开了一种液体处理装置,包括处理液排放口,其布置在将加工对象容纳于其中的处理槽的相对拐角上,并且可交替地排放处理液。布置在一个拐角处的处理液排放口...
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