技术编号:6866159
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种高效率产生真空紫外领域波长光的真空紫外光源。尤其涉及一种高效率作为真空紫外光源(以下也称为VUV光源)的电介质阻挡放电准分子光源,该光源可用于微电子领域中利用紫外光进行材料清洗或者利用紫外光进行材料表面再质(surfacereformation表面再质)。背景技术 作为能产生VUV波带波长光的自发辐射光源(spontaneousradiation lamp),其中利用惰性气体的B-X跃迁而产生VUV波带辐射的气体光源已众所周知。准分子在向基态...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。