技术编号:6866323
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于形成有机半导体层和有机绝缘层的叠层膜的涂液、及采用该涂液的场效应晶体管的制造方法、以及场效应晶体管。在本说明书中,有时将栅绝缘层和与栅绝缘层邻接且作为沟道区域发挥作用的半导体层这双方均由有机材料构成的FET称为有机场效应晶体管。有机材料的薄膜可在室温附近形成于衬底上,而且还具有机械的柔软性。因此,有机FET可形成在没有耐热性的柔软的塑料衬底上,从而作为下一代的便携式信息设备用的基干部件而受到期待。将有机薄膜形成在衬底上的方法包括真空蒸镀法和溶...
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