反向标注装置、掩模版图校正装置、反向标注方法、程序、记录介质、制造半导体集成电路 ...的制作方法技术资料下载

技术编号:6866565

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本发明涉及半导体集成电路(IC)的设计技术,特别是涉及根据构成半导体IC的晶体管元件的特性变化而执行反向标注和掩模布局校正的技术。背景技术 设计半导体IC一般是以功能设计、逻辑设计和版图设计的顺序进行,并且在每一设计阶段,为了检验操作而执行模拟。在版图设计之后执行的时序模拟采用时序信息,即关于信号延迟的信息。时序信息能够由在版图设计中建立的掩模版图信息确定。将反映在时序模拟中已确定的时序信息的过程或者反映根据时序信息执行的时序模拟称为反向标注(back a...
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