技术编号:6867055
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种表面发射型激光装置及其制造方法,特别是涉及一种。背景技术 如图1所示,表面发射型激光(vertical cavity surface emitting laser,VCSEL)装置的主要结构包括半导体衬底5、上下两个分布式布拉格反射镜(distributed bragg reflector mirrors,DBR mirrors)10和20,其中间夹着用以产生激光的有源区(active region)30,由于具有低临界电流(low thre...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。