技术编号：6867462
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的用于在固体中产生掺杂区域的方法，本发明也涉及一种用于实施该方法的装置。此外，本发明还涉及一种基于根据本发明的方法的、用于制造太阳能电池的发射极区域的方法。另外，本发明还涉及一种基于根据本发明的方法的、在半导体和金属之间产生欧姆接触的方法。在由单晶硅或者多晶硅构成的太阳能电池的商业制造中，通过制造中的高温步骤来产生太阳能电池发射极，接着在温度为大约1000K的扩散炉中扩散掺杂物、一般为磷。为此所需的时间大约为30分...
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