技术编号:6867923
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。总体而言,本发明涉及集成电路制造,更具体而言,涉及掩模技术。背景技术 在现代电子仪器中,作为包括增加的可携带性、计算能力、存储容量和能量效率的需要的诸多因素的结果,集成电路正在不断降低尺寸。为了促进这种尺寸降低,形成集成电路的组件特征的尺寸如电器件和互连线宽度也在不断降低。例如,在存储电路或器件如动态随机存取存储器(DRAM)、静态随机存取存储器(SRAM)、铁电(FE)存储器等中,降低特征尺寸的趋向是明显的。举例来说,DRAM典型地包含数百万相同的称为存...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。