技术编号:6869593
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及一种激光设备和使用该激光设备制造薄膜晶体管的方法,尤其涉及一种用于在结晶工艺期间使非晶硅层均匀的激光设备以及使用该激光设备制造薄膜晶体管的方法。背景技术 平板显示装置被广泛地用作显示装置。平板显示装置包括,例如,液晶显示器或有机发光二极管显示器。液晶显示器和有机发光二极管显示器通过不同的机制显示图像,但是都包括薄膜晶体管。薄膜晶体管包括,例如沟道区、栅电极、源电极和漏电极。沟道区可以由非晶硅形成。由于非晶硅的低迁移率,其具有低的电性能和可靠性。已...
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