技术编号:6869897
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微光电机械装置(MOEMS装置),特别地,本发明涉及半导体晶片上的空间光调制器的子。背景技术 空间光调制器也被称为SLM,其基于光学平板印刷应用的微镜,需要特别高的镜面平整度以提供具有高光刻分辨率以及维度或标量一致性的工具。常规的和当前所使用的基于铝镜的SLM技术在这一方面存在一定的缺陷或限制,这一技术是基于通过使用表面微处理技术,在COMS控制电子器件(COMS=互补金属氧化物半导体)的顶端表面生成微镜(参见“Application of Sp...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。