技术编号:6869954
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,例如,作为信号滤波器、混频器、谐振器等的元件的微振子,具有此微振子的半导体装置以及使用利用此微振子的带通滤波器的通信装置。背景技术 使用微型机器(MEMS微机电系统)技术制造的微振子是公知的。使用半导体工艺制作的微振子,由于具有器件占据面积小、可实现高Q值、可与其它半导体器件集成化的特点,以密歇根大学为首的研究机构已提出也可将其在无线通信器件中用作高频滤波器(参照非专利文献1)。在图15中概略示出构成上述高频滤波器的微振子,即静电驱动的梁型振子...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。