技术编号：6869955
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明总的涉及一种半导体器件，更特别地涉及一种具有铁电电容器的半导体器件及其制造方法。背景技术 铁电存储器是一种非易失性电压驱动的半导体存储器件，并且其特点在于具有高运行速度、低耗电量以及即使在关闭电源时也能保持其内部信息的非易失性的优点。铁电存储器已经应用于IC卡和其它便携式电子设备中。参考文献专利文献1日本特许公开2004-153031专利公报图1是示出称作叠置类型器件的铁电存储器件10的结构的横截面图。参照图1，铁电存储器件10是所谓的1T1C器件，...
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