技术编号：6870091
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜晶体管，总的来说利用以多晶硅薄膜为代表的、具有各种方位角的结晶的半导体薄膜(以下简称晶体半导体薄膜)形成的薄膜晶体管，以及利用上述薄膜晶体管形成的一种半导体器件。尤其是，本发明涉及形成薄膜晶体管的沟道-形成区、源区和漏区的一种半导体薄膜，以及涉及装配有上述薄膜晶体管的一种半导体器件。在本说明书里，半导体器件表示通过利用半导体特性工作的器件，总的来说包括以液晶显示器和半导体集成电路(微处理器、信号处理电路和高频电路)为代表在内的显示设备。现有技...
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