薄膜电晶体阵列及其制造方法技术资料下载

技术编号:6870351

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本发明关于一种适用于液晶显示器制造过程中的。背景技术 公知液晶显示器用薄膜电晶体(TFT)的制造流程如图1a-1e所示。首先如图1a所示,在已形成开关元件11的基板10上涂布厚度t1的有机材料,以形成绝缘层或保护层12。接着如图1b所示,在保护层12上涂布厚度t2的光阻层13,并于光阻层13定义出所需图样。之后,如图1c所示,以光阻层13为幕罩对保护层12进行蚀刻,以形成画素电极与汲极电极的接触孔14。然后移除光阻层13,如图1d所示。最后如图1e所示,再...
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