技术编号:6870351
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于一种适用于液晶显示器制造过程中的。背景技术 公知液晶显示器用薄膜电晶体(TFT)的制造流程如图1a-1e所示。首先如图1a所示,在已形成开关元件11的基板10上涂布厚度t1的有机材料,以形成绝缘层或保护层12。接着如图1b所示,在保护层12上涂布厚度t2的光阻层13,并于光阻层13定义出所需图样。之后,如图1c所示,以光阻层13为幕罩对保护层12进行蚀刻,以形成画素电极与汲极电极的接触孔14。然后移除光阻层13,如图1d所示。最后如图1e所示,再...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。