技术编号:6870574
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于冶金,涉及一种p型太阳能电池等级多晶硅制备工艺。背景技术 目前生产高纯硅主要是化学法和物理提纯法。化学法中,生产超高纯硅常用美国UCC公司开发的硅烷(SiH4)法,硅烷法热分解温度较低,耗电相对较少,值得推广。但是由于硅烷的强爆炸性,使得该法成本太高而没有得到推广,仅在极特殊工艺中少量使用。目前美、日、德三巨头大都采用改良型德国西门子法工艺规模化生产11N级的多晶硅。化学法的优势是它可一次性淀积11N纯度的U型多晶硅棒,缺点是非环保、高耗电、腐蚀...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。