技术编号:6870611
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光通信用的和共面波导集成的侧面进光的10Gb/s APD,尤其涉及一种二台阶连体式管芯的结构及其制作工艺。背景技术 随着光通信技术的不断发展,千兆以太网和高速(10Gb/s)光通信网得到了快速的发展和广泛的应用。在传输速率达10Gb/s的光通信系统中,高灵敏度的光接收机是其关键的部件之一;一般要求光接收灵敏度优于-28dBm,光响应速率(或-3dB带宽)大于8GHz。而在光接收机中,关键的光电子器件为光探测器和低噪声放大器。光探测器主要有两种...
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