技术编号:6871039
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,特别是涉及作为在半导体衬底上具有多个金属布线层的半导体器件,在上下金属布线层之间的绝缘层的开口内部形成了电容元件的半导体器件及其制造方法。形成层间绝缘层107使得覆盖上述的电容元件C,下层电极109以及上层电极112的每一个经过在连接孔107a内埋入的金属插塞108与金属布线113电连接。通过该金属布线113向下层电极109以及上层电极112的每一个提供电位,在电极之间积累电荷。另外,晶体管T具有一对源/漏区103,栅极绝缘层104,栅极电极层...
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