技术编号：6871141
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种自动搬送硅片盒的方法，尤其涉及一种中电流注 入设备与标准机械接口的通讯和控制方法。技术背景由于申请人原有的中电流注入设备(NISSINEXCEED系列)都是 OPEN CASSETTE结构(是指一种开放式的硅片盒放置方法，由于硅片 所处的环境都是高净化度的，所以不需要密封盒在不同设备间进行搬 送)，随着净化环境的变化，部分设备必须加装标准机械接口 (英文 简称为"SMIF"，是指一种将装在密封箱里的硅片盒传送到设备，或 把设备上的硅片盒搬回到...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。