技术编号：6872756
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微器件。背景技术 光刻装置是一种将所希望的图案施加到基底上，通常施加到基底的目标部分上的机器。光刻装置可以用在例如集成电路的微器件的制造过程中。图案形成装置，例如中间掩模版，可以用于产生例如形成在集成电路的各层上的电路图案。该图案可以被转印到基底(例如，硅晶片)上的目标部分(例如，包括部分、一个或多个管芯)上。通常通过在基底上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上成象进行图案的转印。一般情况下，单个基底将包含被相继图案化的邻近目标部分的网格。已知的光刻装置...
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