技术编号:6872995
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明揭示导电的非极化(non-polar)的复合氮化镓基衬底,属于半导体电子。背景技术 在工业上,c-蓝宝石衬底作为生长氮化镓基器件(包括氮化镓基LED)的主要生长衬底之一。但是,存在以下不足之处(1)氮化镓基外延层内存在内建极化电场,该电场降低氮化镓基外延层内的电子和空穴的结合效率,因而降低氮化镓基器件的内量子效率。(2)蓝宝石是低热导材料,大功率器件的散热问题需要解决。(3)横向结构氮化镓基LED具有电流拥塞(crowding)、电流分布不均匀,等缺...
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