技术编号:6873252
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光刻装置和一种器件制造方法。背景技术 光刻装置是在基底的靶部上施加预期图案的设备。例如,可以在集成电路(ICs),平板显示器及其它包含精细结构的器件的制造过程中使用光刻装置。在常规的光刻装置中,还称为掩模或划线板的构图阵列可以用来产生对应于IC(或其它器件)单个层的电路图案,该图案被成像到基底(例如,硅晶片或玻璃片)上的靶部(例如包含一个或几个电路小片(dies)的部分)上,所述基底具有辐射敏感材料(抗蚀剂)层。取代掩模的是,所述构图阵列可以...
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